| 型号 : | OTFC-1550 | 新旧程度 : | 9成新 |
| 设备所在地 : | 东莞茶山 | 设备生产产地 : | 日本 |
| 产品数量 : | 1 |
工厂转让一台日本OTFC-1550真空电镀膜机使用范围:介质膜及金属膜光学元件镀膜
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM
工件架：Ф1400
工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：电子2套
离子源：17cmRF离子源
排气系统：机械泵2个，扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)
性能
达到压力：7. 0X10-5Pa以下
排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
基板温度： 高: 350C
工作条件
设备尺寸：药500m00) x 7200m(D)X53700mm
电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量：180升/分以上
空气压力：0.5MPa以上
重量：约11000kg
