| 品牌 | PBT(BOYISH) |
|---|---|
| 型号 | PBT-650**清洗机 |
| 加工定制 | 是 |
产品详情:
名称：晶元清洗机
品牌：PBT (BOYISH)
型号：PBT-650
设备特点：
▲可更换清洗吸盘，可使用4-12英寸的清洗吸盘；
▲操作程序可按作业需求编写调整，设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制；
▲设备运行状态及参数在线实时监控，自动门配有安全光栅，保证操作安全；
▲采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；
▲摆臂式清洗，清洗范围可编制，适用范围广、无清洗盲区、无二次污染，清洗效果更佳；
▲设备清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染；
▲高速离心设计，转速可调节100-2000R/Min；
▲配备独特的静电消除装置，辅助清洗达到最佳效果，可选择使用氮气；
▲设备配有大面积透明观察窗；
▲缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小；
▲整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。
适用领域：
采用高速离心设计，主要使用于4-12英寸的硅晶圆片的精密清洗；搭配二流体清洗、静电消除/氮气、高速离心等装置，使被清洗件达到干燥、洁净的目的。
工作原理：
放入物料---一键清洗开始，安全门自动关闭---二流体清洗---离心脱水（去静电离子风与加热腔体辅助干燥)---清洗完毕---报警提示---玻璃门自动打开.
技术参数：
| 设备外观尺寸 | 620mm（L）×760mm（W）×1600mm（H） | |
| 清洗盘规格 | 4-12英寸（可选） | |
| 清洗盘尺寸 | 定制 | |
| 纯水入口径 | 外径Ø8mm纯水软管 | |
| 排水出口径 | 3/4″软管 | |
| 气源入口径 | Ø12mm PU气管 | |
| 排风口口径 | 2.5″皮管接头（75mm外径） | |
| 电源供应 | AC220V; 50HZ ;5A | |
| 总功率 | 1.5KW | |
| 耗电量 | 清洗时: 1.5kw/h | |
| 气源供应 | 0.45-0.7Mpa | |
| DI水供应 | ＞0.35Mpa | |
| 清洗压力 | 3.8-8Kgf/cm2 | |
| 离心转速 | 100-2000R/Min | |
| 传动马力 | 1HP | |
| 纯水消耗量 | 0-1000ML/Min | |
| 气体消耗量 | 200-500L/Min | |
| 空气过滤方式 | 一级0.01μm除油过滤器；二级0.01μm精密过滤器 | |
| 环境过滤方式 | 0.3μm；99.99% | |
| 机器净重 | 约200KG | |
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