品牌 | PBT(BOYISH) |
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型号 | PBT-650**清洗机 |
加工定制 | 是 |
产品详情:
名称:晶元清洗机
品牌:PBT (BOYISH)
型号:PBT-650
设备特点:
▲可更换清洗吸盘,可使用4-12英寸的清洗吸盘;
▲操作程序可按作业需求编写调整,设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制;
▲设备运行状态及参数在线实时监控,自动门配有安全光栅,保证操作安全;
▲采用真空吸附式清洗盘,晶元夹具的取放更安全、方便;
▲摆臂式清洗,清洗范围可编制,适用范围广、无清洗盲区、无二次污染,清洗效果更佳;
▲设备清洗室全密封,且配有自动挡水圈,有效防止二次污染;
▲高速离心设计,转速可调节100-2000R/Min;
▲配备独特的静电消除装置,辅助清洗达到最佳效果,可选择使用氮气;
▲设备配有大面积透明观察窗;
▲缩减宽度的省空间设计,结构紧凑,占用空间小;
▲整机镜面不锈钢机身,能耐酸碱,对工作环境无污染,镜面机壳易于保养。
适用领域:
采用高速离心设计,主要使用于4-12英寸的硅晶圆片的精密清洗;搭配二流体清洗、静电消除/氮气、高速离心等装置,使被清洗件达到干燥、洁净的目的。
工作原理:
放入物料---一键清洗开始,安全门自动关闭---二流体清洗---离心脱水(去静电离子风与加热腔体辅助干燥)---清洗完毕---报警提示---玻璃门自动打开.
技术参数:
设备外观尺寸 | 620mm(L)×760mm(W)×1600mm(H) | |
清洗盘规格 | 4-12英寸(可选) | |
清洗盘尺寸 | 定制 | |
纯水入口径 | 外径Ø8mm纯水软管 | |
排水出口径 | 3/4″软管 | |
气源入口径 | Ø12mm PU气管 | |
排风口口径 | 2.5″皮管接头(75mm外径) | |
电源供应 | AC220V; 50HZ ;5A | |
总功率 | 1.5KW | |
耗电量 | 清洗时: 1.5kw/h | |
气源供应 | 0.45-0.7Mpa | |
DI水供应 | >0.35Mpa | |
清洗压力 | 3.8-8Kgf/cm2 | |
离心转速 | 100-2000R/Min | |
传动马力 | 1HP | |
纯水消耗量 | 0-1000ML/Min | |
气体消耗量 | 200-500L/Min | |
空气过滤方式 | 一级0.01μm除油过滤器;二级0.01μm精密过滤器 | |
环境过滤方式 | 0.3μm;99.99% | |
机器净重 | 约200KG |
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